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通常由石墨靶材直接濺射出碳原子形成。而且可以在常溫下進行涂層，對基材的范圍選擇比較廣，突破原有涂層對基材的限制，如一些非金屬基材橡膠、塑料、陶瓷等多可以進行涂層。TaC涂層里金剛石SP3成分含量高，最高可以達到80%。但是此類涂層內(nèi)應(yīng)力較大，脆性高，通常不能沉積太厚的涂層,因此使用范圍比較受限制。